1 长春理工大学 理学院， 长春30022
2 长春长光圆辰微电子技术有限公司， 长春1300
借助波导转角镜结构，利用古斯-汉欣空间位移和热光效应折射率调制的有效组合，提出了波导反射模式数字式热光开关结构。在给定入射角的条件下优化了空间古斯-汉欣位移，在具有古斯-汉欣效应的本征态下，反射光束出现了较大的跳跃。在1.0 μm 厚硅膜的绝缘体上硅平台上，单模输入波导和多模干涉波导结构之间的导模本征态匹配，验证了1×3数字式光开关功能。实验中，器件结构引起的光损耗为0.3 dB，开关功率为130~150 mW，开关时间约为50 μs，相邻输出端之间隔离度为15 dB。与马赫-曾德尔干涉仪型的2×2热光开关和等离子体效应热光开关的最新结果进行比较证明了该数字式热光开关的先进性。
数字式光开关 热光效应 古斯-汉欣效应 SOI波导 Digital optical switch Thermo-optic effect Goos-Hänchen effect SOI waveguide
Author Affiliations
Abstract
1 State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China
2 Graduate University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
A free-space 1\times2 wavelength-selective switch (WSS) based on thin-film filter technology is proposed. The 1\times2 WSS is fabricated with an electromagnetic actuator, a reflecton prism, a narrow-band thin-film filter, and three fiber collimators. The working principle and the configuration of WSS are illuminated. The experimental results indicate a fiber-to-fiber insertion loss ranging from 1.109 to 1.249 dB with 2-V voltage input, which satisfies the application of optical fiber communication.
光学器件 光开关 波分复用 波长选择器 060.1810 Buffers, couplers, routers,switches, and multiplexers 230.3990 Micro-optical devices 130.3120 Integrated optics devices Chinese Optics Letters
2009, 7(7): 07553
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130033
2 中国科学院研究生院, 北京 100039
介绍了一种新型的聚酰亚胺(PI)悬臂梁式电磁驱动微机电系统(MEMS)光开关,并对其总体结构进行了设计与仿真分析。运用有限元分析的方法,设计了永磁体的最佳尺寸并优化了悬臂梁的结构;分析了聚酰亚胺悬臂梁的扭转力、电磁力与挠度的关系。当输入电流为75 mA时,聚酰亚胺悬臂梁达到平衡时的挠度约为1.02 mm, 能够满足器件转换光路的要求。
微机电系统 光开关 有限元分析 电磁驱动
1 Wuxi Institute of Light Industry, Mechanic Engineering Department, Wuxi 214036, China
2 State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics, Academia Sinica, P. O. Box 1024
3 Changchun 130022, China
Chinese Journal of Lasers B
1995, 4(6): 501
1 Electronic Engineering Department, Jilin University of Technology, Changchun 130025, China
2 Chongcbon Institute of Optics and Fine Mechanics Academia Sinica State Key Laboratory of Applied Optics P. O. Box 1024, Changchun 13002, China
3 Changchun Institute of Physics, Academia Sinica, Changchun 130021, China
Chinese Journal of Lasers B
1994, 3(3): 275
